\[ \require{physics} \require{mhchem} \]
- TiAlNのCVDの話
- 炭素複合材料のCVI
- 結局は共通はPVDに近い
半導体関連のテーマが可能性高め
半導体の製造工程について4/20やる
キーワード
- PECVD
- PSG
- Epitaxial Growth
- FEOL
- BEOL
- 回路図→マスク→エッチング
- MEMS
- RAMの仕組み
- Cell transister シリンダー→ピラー
- High-K
TODO
- MOSFET周辺の復習
- CFETなどの新しいやつの仕組みを調べる
- イソグラフィー
- 6F^2? 4F^2? 的な話
- VCT vertical channel transistor
- \(\ce{SiCl2 + CH3CH3 -> CH3SiCl3}\) 関連
- CVIの表面反応の解析